干法灰化法指的是馬弗爐高溫使有機物灰化成無機物（灰化前需炭化），再用酸或水溶解的一種方法。干法灰化法能處理大量樣品，無試劑污染，具有空白值低、靈敏度高等優點；缺點是該方法操作時間長、回收率低，會導致某些元素測定結果偏低，對于易揮發的以及會形成金屬化合物的元素并不適用。

有些元素的測定不適用干法灰化法，比如鉛和鋁的測定。

一般該方法稱取固體試樣0.5～5g（精確至0.001g）或準確移取液體試樣0.500～10.0mL于坩堝中，小火加熱，炭化至無煙，轉移至馬弗爐中，于550℃灰化3～4h。冷卻，取出，對于灰化不徹底的試樣，加數滴硝酸，小火加熱，小心蒸干，再轉入550℃馬弗爐中，繼續灰化1～2h，至試樣呈白灰狀，冷卻，取出，用適量硝酸溶液（1+1）溶解并用水或1%硝酸溶液定容至25mL或50mL。同時做試劑空白試驗。所有空白樣品都用超純水按照上述步驟進行前處理。